窒化アルミ加工（ヒーター部分）

窒化アルミ(ALN)は高い電気絶縁性を備え、シリコンと熱膨張係数が近い素材で特にその高い熱伝導率から熱制御およびヒーター関連の機器装置にも部品多用されています。

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